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无尘室内生产制造设备应注意的重点

1.生产设备之选择、布置与保养：

a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。

f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。

g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。

i.当设备维修时易产生微尘粒子，机电无尘车间公司，故维修时尽量于清洁室外进行，山东无尘车间公司，并加隔离栅隔离。

j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。

k.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。

l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。

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无尘车间洁净室管理制度

1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。

2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。

3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。

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1. 为确保无尘车间的净化环境和无尘度，需对无尘车间定期监测，监测项目和频次照有关规定。如有特殊要求，可另行规定。

2. 发现下列情况，空气过滤器应予更换：

(1) 气流速度降到低限度，即使更换初效和中效空气过滤器后，气流速度仍不能增大。

(2) 空气过滤器风量为原风量的70%。

(3) 空气过滤器出现无法修补的渗漏。

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